德國MUEGGE等離子組件MA3000C-403BB

公司簡介：

MUEGGE 代表著技術(shù)和專業(yè)知識，激發(fā)了定制解決方案的靈感。對工業(yè)流程的深入了解使我們的高技能專家能夠?yàn)槟峁┧璧乃兄С帧Ｗ鳛楣I(yè)微波和微波輔助等離子系統(tǒng)制造商，我們開發(fā)可靠、經(jīng)濟(jì)高效且可持續(xù)的機(jī)器。在工業(yè)微波和微波輔助等離子體技術(shù)方面擁有 30 多年的經(jīng)驗(yàn)，其專家團(tuán)隊(duì)深入了解工業(yè)流程，能夠提供從組件設(shè)計(jì)到系統(tǒng)集成的支持。

應(yīng)用領(lǐng)域：

工業(yè)加熱：如橡膠硫化、木材干燥、技術(shù)泡沫生產(chǎn)等。

半導(dǎo)體和平板應(yīng)用：例如半導(dǎo)體制造過程中的蝕刻、沉積等工藝。

光伏領(lǐng)域：在光伏電池生產(chǎn)等環(huán)節(jié)有應(yīng)用。

醫(yī)療醫(yī)藥：如巴氏殺菌和滅菌、真空干燥等。

實(shí)驗(yàn)室培育鉆石：為鉆石培育過程提供微波能量支持。

光學(xué)纖維：在光纖制造過程中可能用于加熱或處理等環(huán)節(jié)。

Power-to-X 應(yīng)用：將電能轉(zhuǎn)化為氣態(tài)或液態(tài)燃料或化學(xué)品，如利用微波加熱和微波等離子體工藝將可再生能源產(chǎn)生的電能轉(zhuǎn)化為氫氣、一氧化碳和合成氣等物質(zhì)，用于存儲和再利用。

產(chǎn)品介紹：

一 等離子體組件

作為等離子組件制造商，可幫助您設(shè)計(jì)和調(diào)整設(shè)備，同時保持快速上市和低 CoO。作為我們“交鑰匙"產(chǎn)品系列的一部分，我們?yōu)楦鞣N不同的制造工具和應(yīng)用提供等離子組件：

氧化物和氮化物層的高密度沉積

大規(guī)模沉積和蝕刻

SU-8 距離

高選擇性去除有機(jī)物質(zhì)

用于清潔氧敏感材料的非氧化性化學(xué)品（H2 工藝）

無損清潔敏感表面（例如傳感器）和 3D 結(jié)構(gòu)

各向同性腔室清潔

LIGA 工藝（光刻、電鍍和成型）

1. MA3000C-403BB

自由基血漿源（遠(yuǎn)程血漿源）

過程：蝕刻和沉積

輸出連接類型：介電材料

藍(lán)寶石

標(biāo)稱電源電壓 [V]：230 / 208

輸出功率 [W]：3000

頻率 [MHz]：2450

型號列表：

MA1250C-003BC

MA2000C-083BB

MA2000C-143BB

MA2000C-913BB

MA3000C-403BB

MA3000C-283BB

MA3000C-463BB

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